ANRIC AT-OZONE 臭氧發(fā)生器功能和規(guī)格

特點(diǎn)

用于非循環(huán)臭氧流動(dòng)的高容量臭氧破壞器。消除機(jī)組廢氣流中的臭氧

帶自動(dòng)控制的 O2 入口截止閥

電暈電池由帶陶瓷電介質(zhì)的鋁制成

低流量時(shí)重量比 12%，高流量時(shí)為 6%

工作頻率： 5，000 – 30，000 Hz

自動(dòng)臭氧控制需要3-24V輸入信號(hào)

臭氧內(nèi)部

ATOzone（臭氧發(fā)生器）系統(tǒng)利用高質(zhì)量的組件來產(chǎn)生一個(gè)整體系統(tǒng)，以非常小的外形尺寸提供高濃度的臭氧。

該系統(tǒng)不需要昂貴且笨重的水冷，只需內(nèi)置高速風(fēng)扇即可保持漿池冷卻，即使在長(zhǎng)時(shí)間或持續(xù)使用期間也是如此。

純氧從背面進(jìn)入工具。氧氣壓力使用前面板安裝調(diào)節(jié)器進(jìn)行調(diào)節(jié)，然后送入電暈漿池以產(chǎn)生臭氧。然后將臭氧在內(nèi)置的臭氧破壞裝置和系統(tǒng)前端的臭氧輸出之間分配。如果未使用臭氧（即未流過 ALD 系統(tǒng)或其他設(shè)備），則所有臭氧都會(huì)進(jìn)入銷毀單元，流出的再次是純 O2，它通過流量控制器引導(dǎo)，然后流向后面的排氣口。如果臭氧被利用，那么臭氧的凈流量是輸出而不是通過破壞。

有幾種方法可以操作系統(tǒng)。 您可以手動(dòng)打開系統(tǒng)以輸出 O2 或 O3（通過前面板上的開關(guān)），也可以使用 3-24V 信號(hào)遠(yuǎn)程打開和關(guān)閉 O3/O3 輸出。